品牌:NSK | 型号:30244/SO | 内径:220mm |
外径:400mm | 旧型号:30244/SO | 厚度:73mm |
保持架及其材料:J钢板冲压 | 用途:工程机械 | 重量:35.4kg |
样品或现货:现货 | 滚动体类型:圆锥滚子 | 滚动体列数:单列 |
滚道类型:凸度滚道 | 使用特性:高速 | 轴承材质:高温轴承钢 |
密封防尘形式:无防尘 | 精度等级:P4 | 组配方式:df |
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作为世界上的多孔介质空气轴承产品独立制造商,交叉滚子轴承NewWay空气轴承公司日前宣布其非接触式多孔空气轴承和镜片修平装置已经获得美国专利号为7,908,885-B2的授权。
镜片厚度的变化误差薄壁交叉滚子轴承已成为更高一级光刻解决方案进行更清晰展示的限制性因素,因而,这种新方法可以降低工具的要求并提供更高的光刻方案。
该技术还可以提供:
表面加工前即可进行粘性清除
消融中,将工业废气或微粒隔离
镜片修平与粘结层预先涂层中的气温、推力圆柱滚子轴承湿度以及氧气水平密切相关联。
NewWay空气公司运用其空气轴承技术将气压均匀分布于成千上万个空气管表面,以此承载上千公斤的载荷。交叉圆锥滚子轴承
同时,真空孔和沟槽组件可提供几十公斤的气压,这足以将玻璃修平来抵抗气体膜,并将之置于安全部位。这样,随着非接触式精密区形成,最为平整的镜片表面也加工完成。